בדיקה מקיפה לרמת חלקיקים וסיבים למטליות לחדר נקי

בתעשיות המוליכים למחצה ואחסון הנתונים, פריטים מתכלים לחדרים נקיים כגון מטליות נבדקים באופן שגרתי כדי לקבוע את היקף ומידת פיזור ושחרור של חלקיקים לחלל החדר הנקי בטווח של סאב-מיקרון עד מיקרון.

Journal of the IEST,November/December 1998 ,Himansu R. Bhattacharjee and Steven J. Paley, The Texwipe Company.

» לקריאת המאמר המלא הקליקו כאן

צרו עמנו קשר באמצעות:


השאירו פרטים ונחזור אליכם